等离子废气净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
净化机理
在等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的能量传递大致如下：
(1)电场 电子→电子
(2)电子 分子(或原子))→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团 分子(原子)→生成物 热
(4)活性基团 活性基团→生成物 热
从上述过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过刺激或电离将能量转移到分子或原子中，获得能量的分子或原子被刺激，部分分子被电离，从而成为活性基团；然后这些活性基团与分子或原子、活性基团和活性基团相互碰撞，产生稳定的产物和热量。此外，电子还可以被电子亲和力强的物质捕获，如卤素和氧气，成为负离子。这种负离子具有良好的化学活性，在化学反应中起着重要作用。
净化原理
低温等离子体技术处理污染物的原理是：在外部电场的作用下，介质放电产生的大量携带能量电子轰击污染物分子，使其电离、解离和刺激，然后引起一系列复杂的物理化学反应，将复杂的大分子污染物转化为简单的小分子物质，或将物质转化为低毒低害物质，从而降解和去除污染物。电离后产生的电子平均能量为10ev，适当的控制反应条件可以实现一般难以实现或缓慢的化学反应。等离子体作为环境污染处理行业的一个高潜在优势，受到了相关学科的高度关注。
净化方法
等离子体废气净化器采用吸附分解碳化离心排气安装技术设计，采用标准模块设计等优点，是一种干处理废气的净化设备。它改变了使用活性碳材料的工艺技术，不需要处理原材料，不需要专人负责，不产生二次污染，易于更换和维护。
低温等离子体是继固体、液体和气体之后的第四种物质状态。当外部电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生混合物，包括电子、各种离子、原子和自由基。虽然放电过程中的电子温度很高，但重粒子温度很低，整个系统处于低温状态，因此被称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物，在短时间内分解污染物分子，并发生各种后续反应，以达到降解污染物的目的。一般气体放电，会产生等离子体，这种放电现象是通过确定的机制将一个或多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒体，称为电离气体，如果外部电场产生电离气体，就形成传导电流，这种现象被称为气体放电。这种净化设备的技术是工业废气处理的原理。
